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X射线光电子能谱仪

品牌：ULVAC-PHI

型号：PHIGENESIS 500

负责人：王营营

联系方式：020-22237330，wangyy86@scut.edu.cn

安放地点：国际校区C2b-112

主要配置：

1. 单色化光枪Al Kα (1486.6eV)

2. 分析腔室；在15 分钟内达到小于 2*10-6Torr 的真空（未放置样品时）。进样室真空度：< 1.2x10 -6 Pa（< 9.0 x10-9 Torr）

3. 能量分辨率（正常工作条件下）：对Ag3d5/2 峰， 半峰宽 (FWHM) ≤0.48eV，最小检测限0.1at.%

4. 检测元素及范围：除H、He以外的全部元素；深约10nm。

5. 测试模式：UPS、LEIPS、mapping、AES、AR-XPS等

基本用途：

1. 各种固体材料（包括粉末材料，如金属、半导体、陶瓷、催化剂、矿物、导电玻璃、表面镀膜材料等）表面的元素成分定性、定量检测及元素价态分析；

2. 离子枪或者离子团簇枪清洁表面，将污染物清理之后，再对表面的元素成分定性、定量检测及元素价态分析。

3. 深剖，样品元素组分沿深度（纵向）变化的检测；离子刻蚀材料表面层以下深度的成分和价态定性、定量分析；